• 薄膜晶體管 (TFT) 陣列製造技術
  • [NT 42944] Record Type: [NT 8598] Electronic resources : [NT 40817] monographic
    [NT 47261] Author: 谷至華
    [NT 47351] Place of Publication: 上海
    [NT 47263] Published: 復旦大學出版社;
    [NT 47352] Year of Publication: 2007
    [NT 47266] Subject: 薄膜晶體管 -
    [NT 51458] Online resource: http://cec.lib.apabi.com:80/product.asp?BookID=m%2e20071025%2dm006%2dw011%2d072點擊此處查看電子書
    [NT 51398] Summary: 全書共13章, 從TFT元件的結構及特點, 到TFT檢查與修復, 包括TFT陣列製作清洗工藝, 成膜工藝, 光刻工藝, 不良解析和檢查修復. 本書從TFT陣列大規模製造的角度, 第一次比較全面地介紹了TFT-LCD生產線的TFT陣列製造工藝技術, 工藝參數, 生產工藝技術管理, 工藝材料規格, 設備特性, 品質控制, 產品技術解析;以工藝原理, 設備參數控制, 材料特性要求, 生產工藝文件要求等大規模生產技術要素為核心, 比較完整地介紹了現代化信息製造業的工藝流程與工藝管理.
    [NT 50961] ISBN: 9787309056556
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