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薄膜晶體管 (TFT) 陣列製造技術
[NT 42944] Record Type:
[NT 8598] Electronic resources : [NT 40817] monographic
[NT 47261] Author:
谷至華
[NT 47351] Place of Publication:
上海
[NT 47263] Published:
復旦大學出版社;
[NT 47352] Year of Publication:
2007
[NT 47266] Subject:
薄膜晶體管 -
[NT 51458] Online resource:
http://cec.lib.apabi.com:80/product.asp?BookID=m%2e20071025%2dm006%2dw011%2d072點擊此處查看電子書
[NT 51398] Summary:
全書共13章, 從TFT元件的結構及特點, 到TFT檢查與修復, 包括TFT陣列製作清洗工藝, 成膜工藝, 光刻工藝, 不良解析和檢查修復. 本書從TFT陣列大規模製造的角度, 第一次比較全面地介紹了TFT-LCD生產線的TFT陣列製造工藝技術, 工藝參數, 生產工藝技術管理, 工藝材料規格, 設備特性, 品質控制, 產品技術解析;以工藝原理, 設備參數控制, 材料特性要求, 生產工藝文件要求等大規模生產技術要素為核心, 比較完整地介紹了現代化信息製造業的工藝流程與工藝管理.
[NT 50961] ISBN:
9787309056556
薄膜晶體管 (TFT) 陣列製造技術
谷至華
薄膜晶體管 (TFT) 陣列製造技術
/ 谷至華編著 - 上海 : 復旦大學出版社, 2007.
ISBN 9787309056556
薄膜晶體管
薄膜晶體管 (TFT) 陣列製造技術
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薄膜晶體管 (TFT) 陣列製造技術
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復旦大學出版社
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全書共13章, 從TFT元件的結構及特點, 到TFT檢查與修復, 包括TFT陣列製作清洗工藝, 成膜工藝, 光刻工藝, 不良解析和檢查修復. 本書從TFT陣列大規模製造的角度, 第一次比較全面地介紹了TFT-LCD生產線的TFT陣列製造工藝技術, 工藝參數, 生產工藝技術管理, 工藝材料規格, 設備特性, 品質控制, 產品技術解析;以工藝原理, 設備參數控制, 材料特性要求, 生產工藝文件要求等大規模生產技術要素為核心, 比較完整地介紹了現代化信息製造業的工藝流程與工藝管理.
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