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Wasa, Kiyotaka.

概要

作品:	1 作品在 2 項出版品 1 種語言

書目資訊

Thin film materials technology : sputtering of compound materials by: Adachi, Hideaki.; Wasa, Kiyotaka.; Kitabatake, Makoto. (書目-電子資源)

Handbook of sputter deposition technology : fundamentals and applications for functional thin films, nano-materials and MEMS by: Wasa, Kiyotaka.; Kanno, Isaku.; Kotera, Hidetoshi. (書目-電子資源)

主題

Cathode sputtering (Plating process) Thin films. TS695 671.7/38 Thin films 621.3815/2

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